ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ и МЕДИЦИНЕ
Чистые помещения
- Что такое «чистое производственное помещение»?
- Для чего нужно?
- Стоимость создания и эксплуатации?
«Чистое помещение» – помещение, в котором контролируется счётная концентрация аэрозольных частиц, и которое построено и используется так, чтобы свести к минимуму поступление, генерацию и накопление частиц внутри помещения, и в котором, при необходимости контролируются другие параметры, например, температура, влажность, и давление.
Набор стандартов ISO 14644
Набор стандартов ISO 14644 включает в себя восемь основных документов, каждый из которых регламентирует определенный вид работ (Таблица 1). Чистые помещения классифицируются по степени чистоты воздуха в них. Чем выше класс чистоты помещения, тем меньше содержание загрязняющих частиц различного диаметра в одном кубометре воздуха этого помещения.
Стандарт ISO 14644 определяет девять классов «чистых» помещений от 1 до 9, причём, чем меньше цифра, тем выше класс чистоты. Основные виды продукции и работ в зависимости от класса чистоты помещения сведены в (Таблицу 2).
Набор стандартов ISO 14644 перекликается с использующимися в России ГОСТами и СНиПами, но более подробно и полно описывает каждый производственный этап.
Стандарт ISO 14644-1: предельные значения для классов чистоты ISO
Состояния ЧПП
Существует три состояния чистых производственных помещений:
- Построенное (as built): состояние, в котором ЧП со всей инфраструктурой полностью смонтировано, все инженерные системы подключены и функционируют, но отсутствуют технологическое оборудование, материалы и персонал;
- Оснащенное (at rest): состояние, в котором ЧП полностью укомплектовано технологическим оборудованием, работающим в соответствии с соглашением между Заказчиком и Исполнителем, но персонал отсутствует;
- Функционирующее (operational): состояние, в котором помещение функционирует установленным образом в присутствии штатного количества персонала, выполняющего свои предписанные рабочие функции.
– это важные параметры и их нужно учитывать при проектировании и строительстве чистых зон.
Принципы создания
Используемые материалы
«Чистое помещение» не возможно без следующих основных элементов:
- Ограждающих конструкций (стеновые и потолочные панели, окна, двери, напольное покрытие и т.д.);
- Специальных систем освещения;
- Систем воздухоподготовки, очистки и кондиционирования;
- Систем контроля класса чистоты помещения.
Типы ЧПП
Чистые помещения и зоны можно разделить на четыре основных типа:
1. Турбулентно вентилируемое – этот тип, как правило, применяется для создания чистых помещений и зон низких классов чистоты, воздух в помещение подаётся через потолочные фильтры и воздухо-распределители.
2. С однонаправленным (ламинарным) воздуш-ным потоком – в этом типе помещения поток воздуха идёт строго в одном направлении. Применяется для создания помещений высоких классов чистоты.
3. Со смешанным воздушным потоком – это турбулентно вентилируемое помещение, но в зоне, где продукт может подвергнуться загрязнению, используется специальный бокс с однонаправленным воздушным потоком. Этот тип чистого помещения используется для создания чистой зоны более высокого класса чистоты в помещении с низким классом, что позволяет значительно сократить издержки.
4. Изоляторы или минизоны – используются внутри чистого помещения для обеспечения более высокого уровня защиты от загрязнений. Бывают различные изоляторы с однонаправленным и ламинарным воздушным потоком, вместо изображенных на рисунке перчаток могут быть использованы полускафандры.