ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ и МЕДИЦИНЕ

Чистые помещения

  1. Что такое «чистое производственное помещение»?
  2. Для чего нужно?
  3. Стоимость создания и эксплуатации?

«Чистое помещение» – помещение, в котором контролируется счётная концентрация аэрозольных частиц, и которое построено и используется так, чтобы свести к минимуму поступление, генерацию и накопление частиц внутри помещения, и в котором, при необходимости контролируются другие параметры, например, температура, влажность, и давление.

Набор стандартов ISO 14644

Набор стандартов ISO 14644 включает в себя восемь основных документов, каждый из которых регламентирует определенный вид работ (Таблица 1). Чистые помещения классифицируются по степени чистоты воздуха в них. Чем выше класс чистоты помещения, тем меньше содержание загрязняющих частиц различного диаметра в одном кубометре воздуха этого помещения.

Стандарт ISO 14644 определяет девять классов «чистых» помещений от 1 до 9, причём, чем меньше цифра, тем выше класс чистоты. Основные виды продукции и работ в зависимости от класса чистоты помещения сведены в (Таблицу 2).

Набор стандартов ISO 14644 перекликается с использующимися в России ГОСТами и СНиПами, но более подробно и полно описывает каждый производственный этап.

Стандарт ISO 14644-1: предельные значения для классов чистоты ISO

Состояния ЧПП

Существует три состояния чистых производственных помещений:

  1. Построенное (as built): состояние, в котором ЧП со всей инфраструктурой полностью смонтировано, все инженерные системы подключены и функционируют, но отсутствуют технологическое оборудование, материалы и персонал;
  2. Оснащенное (at rest): состояние, в котором ЧП полностью укомплектовано технологическим оборудованием, работающим в соответствии с соглашением между Заказчиком и Исполнителем, но персонал отсутствует;
  3. Функционирующее (operational): состояние, в котором помещение функционирует установленным образом в присутствии штатного количества персонала, выполняющего свои предписанные рабочие функции.

– это важные параметры и их нужно учитывать при проектировании и строительстве чистых зон.

Принципы создания

Используемые материалы

«Чистое помещение» не возможно без следующих основных элементов:

  • Ограждающих конструкций (стеновые и потолочные панели, окна, двери, напольное покрытие и т.д.);
  • Специальных систем освещения;
  • Систем воздухоподготовки, очистки и кондиционирования;
  • Систем контроля класса чистоты помещения.

Типы ЧПП

Чистые помещения и зоны можно разделить на четыре основных типа:

 

 

1. Турбулентно вентилируемое – этот тип, как правило, применяется для создания чистых помещений и зон низких классов чистоты, воздух в помещение подаётся через потолочные фильтры и воздухо-распределители.

 

 

2. С однонаправленным (ламинарным) воздуш-ным потоком – в этом типе помещения поток воздуха идёт строго в одном направлении. Применяется для создания помещений высоких классов чистоты.

 

 

3. Со смешанным воздушным потоком – это турбулентно вентилируемое помещение, но в зоне, где продукт может подвергнуться загрязнению, используется специальный бокс с однонаправленным воздушным потоком. Этот тип чистого помещения используется для создания чистой зоны более высокого класса чистоты в помещении с низким классом, что позволяет значительно сократить издержки.

 

 

4. Изоляторы или минизоны – используются внутри чистого помещения для обеспечения более высокого уровня защиты от загрязнений. Бывают различные изоляторы с однонаправленным и ламинарным воздушным потоком, вместо изображенных на рисунке перчаток могут быть использованы полускафандры.